|
■ 超高純度薬品 ■
酸類 / アルカリ類 / 溶剤類
現像液 / レジスト剥離液 / 各種混酸 / 各種エッチング液
CMP後洗浄液 / Siウェハ洗浄液 / ガラス基板洗浄液
サイドウォールポリマー除去液 / シリコーン樹脂溶解剤
拡散剤 / 強誘電体薄膜形成材料
■ 金属定量汚染ウェハ ■
Ni定量汚染ウェハ / 5元素定量汚染ウェハ
■ 薬品自動供給装置 ■
■ 再生装置 ■
IPA再生装置 / レジスト再生装置
■ 純水・薬品・ガス用フィルター ■
■ クリーンルーム / クリーンブース / クリーンベンチ / HEPAフィルターユニット ■
■ クリーンルーム ■
無塵衣 / 手袋 / クリーンペーパー / ワイパー / クリーンチェアー
■ 静電気対策 ■
静電気除去ブロアー / イオナイザー / アース / 帯電防止シート
|